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      日本松定高壓電源HMEC系列
      型號:靜電チャック用高圧電源
      品牌:日本松定電源[鵬控代理]
      產品說明

      靜電チャック用高圧電源

      HMECシリーズは、靜電チャック専用に開発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。

      • 靜電チャック専用設計。
      • 両極性切換式によるスムーズな剝離。
      • 外部信號による出力極性、出力電圧の制御。
      • 出力電圧電流モニタ付。

      出 力

      モデル名

      電 圧[kV]

      電 流[mA]

      リップル[%rms]

      ±1

      10

      0.1

      HMEC-1R10

      ±1.5

      6.6

      0.1

      HMEC-1.5R6.6

      ±2

      5

      0.1

      HMEC-2R5

      ±3

      3.3

      0.1

      HMEC-3R3.3

      ±5

      2

      0.1

      HMEC-5R2

      ±10

      1

      0.1

      HMEC-10R1

       

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      欧美一区二区

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